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激光/光学仪器 |
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低温探针台
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| 产品型号：CG-196 |
特点：
温度范围：77K-480K
褶皱结构全框架焊接
外置探针座重新定位探针
桥式显微镜结构，易于打开腔体
可以通过显微镜X-Y样品台来精确移动显微镜
可以同时使用6个探针座
可选10PA的漏电流
可选防震桌
可选高真空腔
规格：
卡盘直径：40mm
温度范围：77K-480K，精度0.1摄氏度
液氮罐50公升
探针座线性X-Y-Z位移：25mm*25mm*25mm，精度10微米
显微镜X-Y位移：1"*1"
变焦：0.7X-4.5X
目镜：20X
总放大倍率：14X-90X
150W白色照明电源，亮度可连续调控
尺寸：1300mmW*1100mmD*1500mmH
重量：300kg
操作：
温度控制模块：
为了使温度低于室温，卡盘必须通过液氮冷却至低于预设的温度，PID控制器将通过加热卡盘内的加热元素精确控制预设的温度。
液氮模块：
气氮需要被压至真空罐以将液氮排出，液氮量由气氮压力，液氮出入口阀门控制。
真空腔模块
通过真空泵使真空率达到10-3托以用于低温应用，BNC母端口用于连接信号和测试设备。真空泵和废料过滤器可避免试验环境的污染。
探针座模块：
所有探针座位于腔体之外，有助工程师不需要真空排出腔体就可以测试，尤其当温度降低，晶圆将收缩从而使探针移动，工程师需要再次定位点针。
显微镜模块：
桥型结构使显微镜能快速的移到一边，容易打开腔盖。显微镜在真空腔上方直接观测，如果第一点之后的第二点在视线之外，显微镜可通过x，y轴位移移到第二点目标。光源亮度可连续调节。
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| 参考价格：0 |
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| 网址： |
Http://www.perfictlab.com
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电话：86-755-86169688 |
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中国·广东·深圳南山科技园科技中二路软件园4栋210 邮编518057 |
传真：86-755-86169288
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| 联系： | 刘生 先生
发送邮件
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手机：+86-13751175602 |
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