欧姆龙开发出了可在灰尘及粉尘较多的场所使用的MEMS流量传感器“D6F-P”。为了从导入传感器的气体中去除灰尘及粉尘，设置了旋风式立体流路构造。凭借这一手段，与原来的直管式型号相比，实现了体积更小，抗灰尘及粉尘性更强的流量传感器。

MEMS流量传感器的外形尺寸为1.55mm×1.55mm×厚0.4mm，在硅底板上设置了加热器和热电偶。当流量为零时，以加热器为中心，温度分布处于平衡状态，当有流体通过时，这一平衡就会打破，从而产生温度差。此次的传感器利用热电偶检测温度差。还能够以高灵敏度计测1cm/s以下的流速。

相对于这一高灵敏度MEMS流量传感器，原型号也使用特殊的立体流路来分离灰尘和粉尘。不过，此次新开发了使流体呈龙卷风状旋转、利用离心力和重力分离粉尘的流路，从而大幅提高了抗粉尘性等。另外，外形尺寸也仅为27mm×22mm×9.8mm，体积只有原型号“D6F-W01A1”（41mm×20mm×15.1mm）的1/2。

该流量传感器为准确控制家庭及办公室的空调为目的开发而成。具有小型、可轻松嵌入机器、灵敏度高、可靠性出色的特点。