中科院理化技术研究所承担的院仪器研制项目“纳米光子学超细微加工系统”近日通过中科院综合计划局组织的专家验收。现场加工测试结果表明，所研制的纳米光子学超细微加工系统最小加工分辨率小于80纳米，加工定位精度达到10纳米，最大加工范围达到560微米，具备了良好的三维加工能力。专家组认为，该项目按照项目合同的要求，全面完成了合同任务书规定的各项任务，技术指标先进。这种可同时具有纳米尺度的加工分辨率和较大尺度范围的激光加工系统尚未见报道，具有创新性。在加工速度、范围及精度方面处于国际先进水平。

与以金属材料、半导体材料、无机非金属材料为代表的功能性硬物质材料相比较，以有机高分子材料、无机－有机复合材料、生物材料为代表的功能性软物质材料具有可设计的特异光学、电子学、磁学等方面的特性及其功能的多样性、可调谐性，可望在包括信息、生物等方面的各种功能性器件中得到应用。与硬物质材料相比较，软物质在可加工性方面、特别是微尺度三维精细加工的可能性方面具有优势，为此，要实现功能性软物质器件的特色与优势，具有三维结构的功能性软物质器件是最有希望的突破口。本项目的研制成功，为在纳米尺度上开展以有机高分子光电功能材料为主的三维器件的研究建立了高水平的技术平台。

纳米光子学超细微加工系统是理化所段宣明研究员负责完成的。他领导的有机纳米光子学研究组已成功制备了二氧化钛、硫化镉高分子纳米复合材料的三维光子晶体，观测到其光子晶体带隙，并在光子晶体激光器的激射行为研究方面获得进展，为微纳尺度光子学器件研究打下了较好的基础。