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激光/光学仪器 |
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选购探针台前你需要问自己的几个问题 |
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作者：深圳展芯科技 |
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1、 最大需要测几寸的wafer？
2、 探针台机械精度要求多高？
3、 点测样品的尺寸规格为多少？100um*100um或60um*60um的pad，还是FIB制作的mini pad，还是ic内部的metal？
4、 最多需要几根探针同时去点测？
5、 是否会用到探针卡？
6、 光学显微镜的最小分辨率需要用到多少？
7、 显微镜方面，是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测？
8、 探针点测时，对电流的要求是否达到100fa？低电容的要求是否要做到0.1pf？是否有射频的需求？
9、 接驳的测试仪器接口都有哪些？
10、测试环境时是否会需要加热或者降温？
11、对chuck的漏电要求怎样？是否需要添加低阻抗chuck？
12、是否需要防震桌？
13、若添置防震桌，普通空压机的噪音是否会影响到人员的正常办公？
(end)
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(投稿)
(2008-5-7，阅读152次) |
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